据清华大学官网消息,2月25日,清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自德国的合作团队在《自然》上发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》的研究论文,报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(SSMB)的首个原理验证实验。唐传祥指出,EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走,基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。这需要SSMB EUV光源的持续科技攻关,也需要上下游产业链的配合,才能获得真正成功。
扫码关注5G通信官方公众号,免费领取以下5G精品资料
|
最热通信招聘业界最新资讯
最新招聘信息最新技术文章最新论坛贴子 |