破解“卡脖子”难题!清华新成果有望为EUV光刻机提供新技术路线

据清华大学官网消息,2月25日,清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自德国的合作团队在《自然》上发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》的研究论文,报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(SSMB)的首个原理验证实验。唐传祥指出,EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走,基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。这需要SSMB EUV光源的持续科技攻关,也需要上下游产业链的配合,才能获得真正成功。

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